省科技廳發(fā)布了2025年度省前沿技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目立項(xiàng)名單，吳江開發(fā)區(qū)蘇州賽伍應(yīng)用技術(shù)股份有限公司的大尺寸單晶金剛石多能場(chǎng)輔助原子級(jí)制造工藝及裝備項(xiàng)目成功入選。

江蘇省前沿技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目是江蘇省為推動(dòng)現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)而設(shè)立的一項(xiàng)重要科技計(jì)劃，旨在超前布局前沿技術(shù)和顛覆性技術(shù)研發(fā)。本年度江蘇省前沿技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目聚焦國(guó)家重點(diǎn)任務(wù)部署和全省“10+X”未來產(chǎn)業(yè)體系，圍繞人工智能、量子科技、未來信息、未來材料、未來健康等戰(zhàn)略性、前瞻性、先導(dǎo)性方向，支持高校院所、科創(chuàng)企業(yè)加快培育發(fā)展新動(dòng)能，形成新質(zhì)生產(chǎn)力。此次賽伍技術(shù)攜手蘇州大學(xué)聯(lián)合開展的項(xiàng)目，正是圍繞大尺寸單晶金剛石超精密加工這一關(guān)鍵瓶頸展開攻關(guān)，致力于實(shí)現(xiàn)高效、低損傷、原子級(jí)精度表面制造，為我國(guó)高端光學(xué)、半導(dǎo)體襯底、量子計(jì)算等前沿領(lǐng)域提供核心工藝支撐。

當(dāng)前，隨著量子信息、人工智能等高新技術(shù)迅猛發(fā)展，高端射頻器件、量子芯片、光電傳感器等新型半導(dǎo)體系統(tǒng)對(duì)材料表面質(zhì)量提出近乎極限的要求。單晶金剛石因其優(yōu)異的物理性能成為理想材料，但其極高的硬度也使得傳統(tǒng)拋光技術(shù)如機(jī)械拋光（MP）、化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）、離子束拋光（IBP）等難以兼顧效率、精度與損傷控制，成為制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡脖子”難題。該項(xiàng)目針對(duì)這一瓶頸，創(chuàng)新地引入“光催化輔助化學(xué)機(jī)械拋光”方法，通過引入光催化反應(yīng)，在原子層級(jí)精準(zhǔn)調(diào)控材料表面化學(xué)活性，將推動(dòng)金剛石加工技術(shù)的跨越式發(fā)展，實(shí)現(xiàn)高效、高精度、低損傷的原子級(jí)拋光技術(shù)突破，為高端光學(xué)器件、半導(dǎo)體襯底、精密機(jī)械和量子計(jì)算等前沿領(lǐng)域提供核心制造技術(shù)支撐。此外，該研究有望突破現(xiàn)有超精密加工技術(shù)的局限，為其他超硬材料的極限加工提供新思路，促進(jìn)我國(guó)在高端制造領(lǐng)域的技術(shù)突破，提升國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。

項(xiàng)目由蘇州賽伍應(yīng)用技術(shù)股份有限公司與蘇州大學(xué)聯(lián)合推進(jìn)，依托企業(yè)在半導(dǎo)體工藝與裝備開發(fā)方面的工程經(jīng)驗(yàn)，以及高校在光電材料、超精密加工、表面表征等方面的科研積累，形成產(chǎn)學(xué)研深度融合的創(chuàng)新體系。目前，團(tuán)隊(duì)已成功研制出新型綠色環(huán)保拋光液，并搭建實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)金剛石材料原子級(jí)高效去除的技術(shù)突破，為后續(xù)系統(tǒng)驗(yàn)證與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。未來，該項(xiàng)目將持續(xù)推進(jìn)工藝優(yōu)化與裝備開發(fā)，力爭(zhēng)實(shí)現(xiàn)從技術(shù)原型到產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的跨越，進(jìn)一步鞏固江蘇省在高端材料與先進(jìn)制造領(lǐng)域的創(chuàng)新引領(lǐng)地位，為我國(guó)在全球科技競(jìng)爭(zhēng)中掌握更多話語(yǔ)權(quán)貢獻(xiàn)力量。

近年來，吳江開發(fā)區(qū)科技局通過政策引導(dǎo)與平臺(tái)搭建，鼓勵(lì)企業(yè)深耕前沿技術(shù)研發(fā)領(lǐng)域，集中力量突破一批關(guān)鍵核心技術(shù)。接下來，吳江開發(fā)區(qū)科技局也將繼續(xù)著力培育行業(yè)標(biāo)桿龍頭企業(yè)集群，聚焦核心技術(shù)“卡脖子”問題，加速科技成果產(chǎn)業(yè)化，力爭(zhēng)在關(guān)鍵領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)更多突破，為吳江開發(fā)區(qū)高質(zhì)量發(fā)展提供強(qiáng)勁動(dòng)能。